型号:XC-2
功能:轮廓测量软件技术特征:建立回归直线和圆形。建立点、交点、自由点、中心点、最高点和最低点。建立坐标系统。 计算半径、距离、角度、坐标及线性偏差。实际值与标称值比较。公差监控。测量程序自动运行。
项目 | 技术数据 |
扫描长度(X方向) | 0.2mm至120mm |
测量范围(Z方向) | 50mm适用于350mm 侧臂 |
测量系统(X方向) | 高精度光栅测量系统(出厂经激光干涉仪校准) |
测量系统(Z方向) | 电感传感器,高精度,高线性度 |
采样速率(X方向) | 1.0μm至8.0μm |
测量系统分辨率(Z方向) | 0.04μm |
行程偏差 | <1μm |
测力(Z方向) | 1mN 至 120mN,向下和向上 |
行程升角 在光滑表面倾斜程度 | 向下降低时不超过88°,向上上升时不超过77° |
测量速度(X方向) | 0.2mm/s 至 4mm/s |
调整间距 | 0.1mm/s |
接触速度(Z方向) | 0.1mm/s 至 1mm/s 可调 |
定位速度(X方向)及返回速度 | 0.1mm/s 至 1mm/s 可调 |
定位速度(Z方向) | 0.2mm/s 至 8mm/s |
测杆长度 | 350mm |
测针半径 | 25μm |